
吉林2600℃大型碳化硅烧结炉

吉林碳化硅重结晶烧结炉

吉林2500℃烧结炉

吉林碳化硅粉烧结炉
技术自主
累计22项授权专利,覆盖温度控制、电磁屏蔽、特种气体充注等关键技术
智造保障
1.5亿元投资建成15000㎡碳化硅半导体设备基地,配备专业产线与质控体系
方案一体
提供‘装备+工艺+服务’全流程支持,从需求调研到远程监控全程响应
安全可靠
多层防护设计:自动防爆阀、流量开关监控、过流过压保护,保障高温运行安全
能耗高、谐波大
可选IGBT中频电源,降低谐波电流;搭配气体纯化装置延长保温材料寿命
石墨化不均匀
一键真空/充气置换+全程水电气自动监控+PC端远程参数调取,确保温度场稳定
杂质影响纯度
304不锈钢压力容器级炉体+高纯石墨毡保温+可选气体纯化,严控杂质引入
运维成本高
一线品牌电器元件+可控硅电源易维护+专用循环水冷却系统,减少故障停机
需求诊断
深入调研客户工艺场景与产能目标,明确设备技术边界与适配要求
方案定制
基于15000㎡研发生产基地能力,输出设备选型、电源配置与工艺匹配方案
交付实施
标准化生产+出厂测试+现场安装调试+操作与工艺培训
长效支持
提供维修改造、配件更换、技术迭代及PC端远程监控等全场景服务
是否支持非标定制?
支持。可根据高校科研、企业量产等不同场景,定制立式/卧式炉型及真空/气氛环境配置。
设备使用温度多少?
核心石墨化炉使用温度达3200℃,满足碳材料、半导体等超高温工艺需求。
能否提供代加工服务?
可提供灵活的实验或生产代加工服务,降低客户初期设备投入门槛。
国际客户如何获得售后支持?
已建立全球服务网络,远程诊断响应及时,关键问题48小时内提供解决方案。